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1：硅片表面光滑潔凈。

 

2：TV：220±20μm。

 

3：幾何尺寸：

 

邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

 

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm;

 

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

 

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。

 

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3。

 

二、合格品

 

一級品：

 

1：表面有少許污漬、輕微線痕。

 

2：220±20μm≤TV≤220±30μm。

 

3：幾何尺寸：

 

邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

 

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm;

 

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

 

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。

 

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5,cheapradiishoes。

 

二級品：

 

1：表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。

 

2：220±30μm≤TV≤220±40μm。

 

3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。

 

4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm

 

5：幾何尺寸：

 

邊長125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;

 

邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm;

 

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。

 

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。

 

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8。

 

三級品：

 

1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅落現象。

 

2：220±40μm≤TV≤220±60μm。

 

3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。

 

三、不合格品

 

嚴重線痕、厚薄片：TV>220±60μm。

 

崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。

 

氣孔片：硅片中間有穿孔。

 

外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。

 

倒角片(同心度)：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。

 

菱形片(垂直度)：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

 

凹痕片：硅片兩面凹痕之和>30μm。

 

臟片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。

 

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。